ИЗУЧЕНИЕ МЕХАНИЗМОВ ОБРАЗОВАНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР, ОБРАЗУЮЩИХСЯ НА ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛОВ, И ИХ ФИЗИКОХИМИЧЕСКИХ СВОЙСТВ
Keywords:
ion-termik bug'lanish, past energiyali ion implantatsiyasi, termofizik xususiyatlar, nanokristallar, atomlarning tebranishlari.Abstract
Bir necha nanometr qalinlikdagi turli materiallar qatlamlaridan tashkil topgan yupqa qatlamlar va ko‘p qatlamli nanostrukturalar juda istiqbolli nanoobyektlardir. Nanokristallarning tuzilishi va ular orasidagi interfeyslar: Yupqa plyonkalar va nanostrukturalarni olish jarayonining samarali usuldan foydalanish va o‘rganishda termofizik (va fizik) xususiyatlarni dasturlash va ko‘p qatlamli
nanostrukturalarni muhandislik dasturlarida qo‘llash ko’rsatilgan.
References
. A.L. Stepanov,∗, V.I. Nuzhdin, V.F. Valeev, V.V. Vorobev, A.M. Rogov, Y.N. Osin «Study of silicon surface implanted by silver ions», Vacuum 159 (2019) 353–357.
. D.N.Leong, M.A.Harry, K.J.Reeson, and K.P.Homewood, "On the origin of 1.5µm luminescence in ion beam synthesis β-FeSi2". Appl. Phys. Letters. V.68, 1649 (1996)
. В.А.Гриценко, «Атомная структура аморфных нестехиометрических оксидов и нитридов кремния» УФН, 178 727–737 (2008).
. К.В.Карабельников, П.А.Карасев, А.И.Титов, ФТП, Т.47, 206 (2013).
. А.А.Алексеев, Д.А.Олянич, Т.В.Утас, В.С.Котляр, А.В.Зотов, А.А.Саранин, ЖТФ, , Т.85, вып.10, 94 (2015).
. Ю.А. Ницук, М.И. Киосе, Ю.Ф. Вакстон, В.А. Смынтына, И.Р. Яцунский // ФиТП, 2019, Т.53, вып.3. С. 381-387.
. S.B. Donaev, F. Djurabekova, D.A. Tashmukhamedova, B.E. Umirzakov «Formation of nanodimensional structures on surfaces of GaAs and Si by means of ion implantation», Physics Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics, V.12. Issue 1-2, January 2015, P.89-93.
. 2. D. Wang and Z.-Q. Zou, Nanotechnology 20, 275607 (2009).
